高溫低濕烘箱超低濕高溫烤箱在晶圓封裝前需在150~180℃、濕度≤5%RH的環(huán)境中進(jìn)行去濕處理，防止金屬鍵合層氧化失效?

產(chǎn)品型號：JS-
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-09-17
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產(chǎn)品詳情

高溫低濕烘箱超低濕高溫烤箱半導(dǎo)體行業(yè)防氧化烘烤?

?應(yīng)用場景?：晶圓封裝前需在150~180℃、濕度≤5%RH的環(huán)境中進(jìn)行去濕處理，防止金屬鍵合層氧化失效?
?設(shè)備特點(diǎn)?：采用氮?dú)庵脫Q與分子篩動態(tài)除濕技術(shù)，潔凈度達(dá)百級標(biāo)準(zhǔn)，支持IPC/JEDEC標(biāo)準(zhǔn)的高溫烘烤模式?

超低濕高溫烤箱電子制造濕敏元件存儲?

?應(yīng)用場景?：LED燈珠、IC芯片等濕敏元器件需在40~90℃、濕度≤5%RH的烘箱中預(yù)烘烤，避免回流焊時出現(xiàn)“爆米花"效應(yīng)?
?設(shè)備特點(diǎn)?：搭載高分子材料除濕系統(tǒng)，濕度恢復(fù)速度≤15分鐘（開門后），并配備防靜電涂層?。

高溫低濕烘箱超低濕高溫烤箱技術(shù)性能

溫度范圍： 50～200℃
濕度范圍： 5%RH 以下
均勻性： ±1.5℃%
工作尺寸：500×500×500,600×800×600mm,可定制
除濕方式：氣體快速超低濕除濕法
箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆
內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼
保溫材料：超細(xì)陶瓷玻璃纖維

半導(dǎo)體設(shè)備廠商上海雋思儀器，硅烷氣相沉積設(shè)備、精密熱板、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)烘箱、智能型HMDS真空預(yù)處理系統(tǒng)烘箱、MSD超低濕烘箱、無塵烘箱、潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦洹o氧烘箱、無塵無氧烘箱、真空烘箱、真空儲存柜、超低溫試驗(yàn)箱、超低濕試驗(yàn)箱等環(huán)境可靠性設(shè)備。

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